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專供半導體芯片使用的潔凈烤箱
- 2021-09-15-

       封裝測試廠從來料(晶圓)開始,經過前道的晶圓表面貼膜然后晶圓背面研磨(GRD)→晶圓背面拋光(polish)→晶圓背面貼膜(W-M)→晶圓表面去膜(WDP)→晶圓烘烤(WBK)等工序對芯片進行封裝和測試。半導體芯片的生產車間都有著嚴格的生產條件要求,比如恒溫恒濕,無塵潔凈等,芯片只有在適合的環境能才能正常發揮作用,而我們周圍的正常環境大多數情況下并不能做到這一點,所以需要封測來保護芯片,為其制造一個良好的工作環境。

       怡和興潔凈工業烤箱是一種提供高溫凈化環境的特殊潔凈無塵烘干設備。箱內空氣封閉自循環,經耐高溫高效空氣過濾器(100級)反復過濾,使烘箱工作室內處于無塵狀態。

        潔凈烘箱具有以下特點,產品密封性要求,工作室材質用SUS304不銹鋼板,內膽用氬弧焊滿焊,防止空氣進入烘箱內及機臺本身所產生的微塵,同時節省惰性氣體。外部防塵處理使用材質為SPCC鋼板經過粉體噴塑,耐磨不掉塵渣。保溫材質為高密度陶瓷纖維,保溫節能。分層結構設計內箱層板高低可調,可自由取出,內部結構配件均采用無氧化無塵材質。干燥箱的外箱結構均采用特殊密封結構設計,確保其與潔凈室的無交叉污染。箱體有活動腳輪,可任意推動和固定位置。內置的高效過濾器HEPA過濾網構造潔凈室與潔凈等級100以下。強制送風內循環,確保溫度均勻,可選配充氮系統,可選配PLC+HMI人機觸摸屏控制系統,帶數據輸出接口。

 

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